@techreport{oai:tdu.repo.nii.ac.jp:02000117,
 author = {小松, 聡},
 month = {},
 note = {東京電機大学, Q21T-02},
 title = {IoTのための超小型CMOS-MEMS混載センサシステムの実現},
 year = {2023}
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